SEC-4400 STEC 流量控制器

　　SEC-4400 STEC 流量控制器

　　型号：SEC-4400

　　品牌：STEC

　　Horiba/Stec SEC-4400MC质量流量控制器

　　制造商:堀场/Stec

　　模型:SEC-4400MC

　　产品系列:SEC-4400、SEC-4500、SEC-4550、SEC-4600、SEC-4400SP、SEC-4400SR、SEC-4400MF、SEC-4500MF

　　产品描述

　　配置：

　　•密封件：金属

　　•所需的正常阀门状态：关闭

　　•流速：2 SLM

　　•气体类型：O 2

　　特征：

　　响应速度：小于1秒

　　重复性：±0.2%FS

　　大工作压力：300kPa(G)

　　合格气体：C 2 F 6、C 3 F 8、C 4 F 8、SF 6、SiF 4等。

　　自动关闭功能

　　Horiba/Stec SEC-4400系列质量流量控制器的响应速度小于1秒，重复精度为±0.2%FS这些控制器的大工作压力为300kPa(G)，可以使用以下气体：C 2 F 6,C 3 F 8,C 4 F 8,SF 6,SiF 4等。这些控制器具有自动关闭功能。