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洁净室 又称无尘室, 是一种特殊设计和建造的环境。主要目的是在制造、科学研究或其他需要高度洁净和控制的应用中,提供一个极低微粒和污染物水平的空气环境。 例如:在半导体、光电面板的制造过程中...
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